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更新时间:2026-05-12
浏览次数:23XRF 镀层测厚仪利用 X 射线荧光分析法(EDXRF),通过微型 X 射线管发射高能射线束照射样品,激发镀层原子内层电子跃迁并释放特征 X 射线荧光 。仪器通过高分辨率探测器捕获荧光信号的能量及强度,结合基本参数法(FP 法)或标准曲线法计算出镀层厚度 。
无损非接触测量:测量过程无需接触样品表面,不会造成划伤或损伤,适合精密元件检测 。
多层同步分析:支持单层、双层及多层镀层的同时分析,部分机型可同时测定最多 5 层镀层及 15 种以上元素 。
自动化功能:现代仪器通常配备自动激光对焦、XYZ 全自动样品台及 CCD 摄像定位系统,可实现微小区域的精确观测与批量自动测量 。
测量范围与精度指标
该仪器的测量能力覆盖多种金属镀层,具体参数因型号配置而异,通用技术指标如下:
元素与厚度范围:
分析元素:通常覆盖从钛(Ti)到铀(U)的元素,包括金、银、镍、铜、锡、锌、铬等常见镀层金属 。
厚度量程:通用测量范围约为 0.03 微米至 50 微米,例如镀金层可测 0.03-6μm,镀镍层可测 0.5-30μm 。
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